OLAM-F11在線研磨分析測控儀

高效的晶片在線研磨過程控制

—傳統的研磨控制器，控制精度較低，多盤研磨時各盤中心頻率離散較大。

—OLAM-F11，實現研磨過程中頻率的在線精密測量，真正做到停機就可收料，實現更少的作業員管理更多的研磨機；

  高頻表現比傳統方法尤為穩定。

超凡高效

—擁有超高采樣頻率以及響應速率,可應對5.5—80MHz產品要求。

—無需中途抽測再補磨，停機即可收料，有效降低對作業員的技能要求。

—多盤研磨比傳統控制方式盤間離散性降低50%，有效提升后制程效率，降低成本。

提升管控

—可連接MES系統，通過局域網下傳生產工單。

—可連接條碼槍掃描工單，與局域網下傳到OLAM的工單信息進行核對，保障加工正確。

—實時記錄和顯示研磨速率及盤內離散狀態，用戶可制定規范，優化制程。

—全程自動記錄并存儲儀器的操作以及參數設置狀態，可追溯整個加工過程。

—可輸出生產數據，提供對研磨變量的綜合智能化管控與分析的依據。

—數據可通過局域網上傳至服務器或存儲至本機SD卡。

校準補償

針對不同研磨環境，可在人工輸入足夠多的修正點后，提供函數擬合工具進行全頻段擬合校準，使全頻段測試更加精確。

可輸出內容

—實時研磨頻率

—實時諧振頻率

—實時單片和整盤散差

—諧振頻率變化圖

—整盤散差變化圖

—歷史操作記錄

—異常狀態提示

工作原理

研磨機啟動后，OLAM掃描探測信號頻率，信號經過探頭耦合到上磨盤電極，當電極滑動到石英晶片上方時，檢測電路依據“動態搜索算法”找到晶片的有效諧振波形，并根據最大傳輸法原理得到晶片的實時諧振頻率平均值，當平均值達到目標頻率后，儀器發出關停指令，使研磨機停機。

安全機制

1. 初始頻率異常：開始進入研磨程序后，若檢測到實時頻率和輸入的初始頻率不符合時，將停機報警。

2. 速率閾值異常：當實時研磨速率超過或小于設定范圍時，將停機報警。

3. 散差閾值異常：當散差與設定范圍不符時，將彈出警示窗口。

4. 頻率跟蹤異常：當實時頻率跟蹤異常時，將彈出警示對話框或停機報警。

5. 圈數傳感器異常：OLAM在研磨或修盤狀態下，如果超過設定的時間沒有圈數信號進入，將停機報警。

6. 停機異常：發出停機控制信號后機器未停，將報警。

7. 接入異常：研磨機控制接口未與OLAM可靠連接，將報警。

8. 權限管理：可設置不同的管理權限，防止參數誤修改。

技術參數