KXR-2100定角粘接機
主要特點
1. Z面定角，對于不同切型的晶棒有更大的適應性。
2. X-ray發生器與博信其它測角機一致，功率小，安全，低成本。
3. 采用先進探測器及最新算法，掃描過程更加智能，保障高精度定角。
4. 測定與矯正分別由兩套獨立的高精度掃描機構完成，相互約束并相互驗證，嚴謹的機制保障結果的安全性與可靠性。
5. 作業簡單，無經驗者經過幾小時的簡單培訓，即可勝任作業。
* Z面測定重復20次的標準偏差值約為1.5″
簡便的操作方式
1. 參數輸入
2. 標準棒校對
3. 手動放置晶棒
4. 自動掃描并判斷晶棒的姿態
5. 自動矯正晶棒的姿態
6. 對矯正后的姿態自動驗證
7. 提示點膠
8. 手動點膠完成后自動進入下一支晶棒
9. 完成整板晶棒的粘接
技術參數
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電源與氣源 |
輸入電源 |
220V±10%，50Hz，2A |
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輸入氣源 |
0.5MPa,100L/min |
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X射線與探測 |
X射線管 |
銅靶，風冷，30W |
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X射線驅動電源 |
24.5KV，1mA |
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衍射方式 |
二級衍射 |
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光路調整方式 |
可控光軌調整裝置 |
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探測器 |
GEIGER COUNTER |
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控制系統 |
控制系統 |
KV-5500 |
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人機界面 |
觸摸屏 |
10英寸 |
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適合晶棒（可特殊指定） |
晶棒類型 |
SC、AT均可 |
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晶棒長度（mm） |
120-230 |
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定角面 |
Z面 |
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定角面高度（in） |
1、2 （KXR-2103型號適合3inch、4inch晶棒） |
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定角面粗糙度 |
不低于200號砂加工 |
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玻璃棒高度（mm） |
≤8 |
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粘料板（可特殊指定） |
長（mm） |
290 |
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寬（mm） |
160 |
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高（mm） |
16±1 |
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最多允許粘接數量（pcs) |
8 |
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一支棒（設定5次矯正） |
最小時間（sec） |
≤120 |
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最大時間（sec） |
≤300 |
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定角掃描電機 |
分辨率（arcsec) |
＜0.3 |
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姿態矯正電機 |
分辨率（arcsec) |
＜0.5 |
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直線模組 |
行程（mm） |
250 |
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允許負載（N） |
400 |
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Roll（arcsec) |
≤12 |
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數據輸出 |
打印輸出 |
USB（ESC/P-C) |
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定角數據輸出 |
以太網接口 |
